掩膜版,又稱作光刻版、光罩、光掩膜版,英文名稱PHOTOMASK,材質有石英玻璃、蘇打玻璃、菲林版等,通過真空鍍膜形成鉻及鉻的氧化物光遮蔽層,再通過激光或電子束光刻的方法在遮蔽層上形成所需的精密圖案,主要是應用于集成電路(IC),IC封裝,微機電(MEMS),功率器件與分立器件,平板顯示行業(FPD),線路板行業,以及發光二極管(LED)和精細光學元器件等行業。

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