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　　掩膜版是轉(zhuǎn)移圖形的工具，光刻掩膜版的作用就是為了將電路信息圖形轉(zhuǎn)移到硅片或者玻璃襯底上，每個掩膜版所能夠繪制的電路信息圖形是有限的，而芯片制作需要很多不同的電路信息圖形，所以在芯片制作過程中需要很多塊掩膜版，每個掩膜版轉(zhuǎn)移完版上的圖形后，就不會再用到了，而且如果工藝驗證過程中，有細微的差異，可能還需要光刻的版圖進行調(diào)整，從而達到參數(shù)補償?shù)膯栴}，那么原本制作的光刻半也不會再使用了，所以說光刻掩膜版是光刻工藝中的消耗品。