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光刻掩膜版清洗用什么拿

【2022-06-28】

光刻掩膜版清洗一般使用掩膜版清洗液，是有專門(mén)的額清洗機(jī)器的。首先將掩膜版放入掩膜版清洗機(jī)一邊沖洗一邊旋轉(zhuǎn)，將污染顆粒沖洗干凈，之后在高速旋轉(zhuǎn)烘干。目前而言，掩膜版清洗機(jī)可以清洗的掩膜版尺寸包括3寸，4寸，5寸，6寸的掩膜版。

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