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掩模版制作的材質常見有石英玻璃，蘇打玻璃等。

石英玻璃：熱膨脹系數非常小，在深UV和近深UV區域都有很高的穿透系數，但是石英玻璃的價格也較為昂貴；

蘇打玻璃：熱膨脹系數較高，需要根據不同的光刻機及曝光參數進行特殊的修調，優點是價格低廉，常用于低端光刻版。

膨脹性能的基本概念：

膨脹系數與熱容的關系：

蘇州硅時代的掩膜版快速制版業務選用進口原材料，并根據客戶不同應用場景合理推薦高性價比光刻版。